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《微、納米功能薄膜分析方法研究及其國家標準制訂》項目通過驗收

發(fā)布時間：2016-01-04 作者：來源：上海市計測院瀏覽：1595

近日，由上海市計測院承擔的上海市質(zhì)量技術(shù)監(jiān)督局科研項目《微、納米功能薄膜分析方法研究及其國家標準制訂》（項目編號：2013-49）順利通過專家驗收。
微、納米功能薄膜材料在戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)中扮演非常重要的角色，已被廣泛應(yīng)用于太陽能電池、集成電路、半導(dǎo)體存儲器件、氣體傳感器等領(lǐng)域。而針對薄膜開展測量方法研究也是確保產(chǎn)品質(zhì)量，改進生產(chǎn)工藝，以及查找產(chǎn)品失效原因的基礎(chǔ)。項目組結(jié)合當前微、納米薄膜測量研究難點，開展了利用輝光放電發(fā)射光譜分析金屬氧化物膜的方法研究，完成了《表面化學(xué)分析輝光放電發(fā)射光譜金屬氧化物膜的分析》國家標準制訂。該標準的制訂為功能薄膜的測量提供可依靠的標準方法，也為相關(guān)薄膜測量儀器的研制以及薄膜測量結(jié)果的一致性提供技術(shù)支持，填補了我國在利用輝光放電發(fā)射光譜分析金屬氧化物膜標準方法的空白。項目組圍繞項目研究內(nèi)容發(fā)表研究論文3篇，制定國家標準1項。項目研究成果得到驗收專家的一致認可。