由我局組織推薦申報(bào)，上海計(jì)量科學(xué)研究院牽頭承擔(dān)的國家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項(xiàng)“跨尺度微納米測量儀的開發(fā)和應(yīng)用”獲得中央財(cái)政專項(xiàng)經(jīng)費(fèi)支持。該項(xiàng)目將通過攻克微聯(lián)動(dòng)多軸驅(qū)動(dòng)和多測頭集成、基于原子沉積光柵納米量值溯源、雙角度傾斜式場掃描等關(guān)鍵技術(shù)，研制出具有自主知識產(chǎn)權(quán)、功能健全、質(zhì)量穩(wěn)定可靠的跨尺度微納米測量儀，并達(dá)到形成年產(chǎn)50臺生產(chǎn)能力，累計(jì)銷售收入5000萬元的目標(biāo)，為我國微納米制造檢測行業(yè)發(fā)展提供技術(shù)支撐。

      該項(xiàng)目總經(jīng)費(fèi)7681萬元，其中中央財(cái)政專項(xiàng)經(jīng)費(fèi)投入3731萬元，項(xiàng)目截止日期為2018年10月。