Micro-Metric公司開發(fā)的Innova光學(xué)測量系統(tǒng)可用于半導(dǎo)體、光電器件和微機電系統(tǒng)（MEMS）裝置等微小尺寸的點到點（PTP）和視場（FOV）非接觸式測量。視場測量的最小尺寸為0.5μm，測量精度可達0.010μm（10nm）；除可手動進行單點測量外，還可通過編程進行全自動逐點順序測量。儀器采用了移動行程為（200×200）mm（X，Y）的高精密工作臺和能進行精密深度測量的共焦顯微鏡，并可對亮度轉(zhuǎn)換進行亞象素級插補，從而可實現(xiàn)亞微米線寬的測量。通過分析被測物體的邊緣銳度，顯微鏡可在最佳焦點處實現(xiàn)自動聚焦定位。